青島西海岸某晶圓廠的無塵車間內(nèi)，丹佳自主研發(fā)的iClean Pro凈化空調(diào)機組正以0.001℃的溫控精度守護著芯片制造的黃金環(huán)境。機組內(nèi)置的128組納米級傳感器，可實時捕捉粒徑≥0.01μm的微粒濃度，與三級過濾系統(tǒng)聯(lián)動作業(yè)：初效過濾器攔截5μm以上顆粒，中效層捕獲0.5μm粉塵，末端PTFE超濾膜對0.1μm微粒截留率達99.9997%。
革命性突破在于AI流體仿真系統(tǒng)，通過2.4萬次/秒的湍流計算，動態(tài)調(diào)節(jié)36個出風口的矢量角度，使?jié)崈羰覛饬骶鶆蚨冗_到98.5%。某12英寸硅片項目數(shù)據(jù)顯示，該機組在黃海潮濕季（RH≥85%）仍將車間露點溫度穩(wěn)定在-40℃，濕度波動≤±1.5%，良品率提升2.3%。更搭載自愈型變頻驅(qū)動技術(shù)，在電壓波動±15%時仍保持風機轉(zhuǎn)速誤差＜0.2%，年故障停機時間縮短至4分鐘。
